SIC 코팅 흑연 트레이 일반적으로 매트릭스로서 고순도 흑연으로 만들어지며, CVD (화학 기상 증착) 를 통해 극도로 높은 순도 및 이론적 밀도를 갖는 SIC 코팅을 제공한다. CVD SIC 코팅은 매우 단단하고, 거울과 같은 표면으로 연마될 수 있다. 게다가, 그것은 매우 높은 순도와 매우 높은 내마모성을 가지고 있습니다. 코팅 된 제품은 고진공 및 고온 환경에서 우수한 성능을 가지므로 SIC 코팅 흑연 트레이는 반도체 산업 및 기타 초 청정 환경에 매우 적합합니다. 이들은 주로 반도체 웨이퍼 상에 에피택셜층을 형성하는 공정에서 기판으로서 사용된다.
| 프로젝트 | 매개 변수 |
|---|---|
| 겉보기 밀도 | 1.85 g/cm3 |
| 전기 저항성 | 11 μΩm |
| 굴곡 Strenth | 49 MPa (500 kgf/cm2) |
| 해안 경도 | 58 |
| 애쉬 | < 5 ppm |
| 열 전도도 | 100 KCal/cm.h.°C |
노트:
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SIC 코팅된 흑연 트레이는 열처리 동안 반도체 웨이퍼를 고정하고 가열하기 위한 베이스로서 사용된다. 에너지는 유도, 전도 또는 복사를 통해 칩을 흡수하고 가열 할 수 있으며, 열 충격 저항, 열 전도성 및 순도는 빠른 열 처리 (RTP) 에 필수적입니다. 실리콘 에피택시 공정에서, 웨이퍼는 베이스 상에 탑재되고, 베이스의 성능 및 품질은 웨이퍼 에피택셜 층의 품질에 결정적인 영향을 미친다.
