Pièces de graphite de semi-conducteur de grande pureté: une partie essentielle dans la production de semi-conducteur

  • Haute résistance et résistance à haute température.
  • Conductivité électrique et thermique élevée, résistance à la corrosion.
  • Excellente usinabilité.
  • Haute pureté et faible teneur en cendres (peut être purifié à 5 ppm).
All components of semiconductor graphite part
Description

Les pièces en graphite semi-conducteur sont des pièces en graphite spécial et utilisées dans le processus de production de semi-conducteurs, y compris les consommables en graphite dans la zone thermique de croissance des cristaux ainsi que les composants en graphite de haute précision dans les équipements de traitement des plaquettes. En tant que noyau de l'industrie électronique moderne, les semi-conducteurs sont largement utilisés dans les domaines des ordinateurs, des alimentations, des LED, de l'Internet, des cellules solaires, etc.

Nous avons avancé l'équipement et la technologie de usinage, et pouvons fournir la précision de pièces de graphite de semi-conducteur usinant selon les dessins et les conditions de client d'assurer l'exactitude et la qualité de produit. Pendant ce temps, nous utilisons un matériau graphite de haute pureté, et sa teneur en cendres peut être purifiée à 5 ppm, ce qui peut parfaitement répondre aux exigences de pureté des matériaux dans le processus de fabrication des semi-conducteurs.

Caractéristiques
  • Haute pureté. Nous employons le matériel de graphite de grande pureté, et pouvons épurer la teneur en cendres à 5 ppm pour répondre aux exigences de pureté des matériaux dans le processus de fabrication de semi-conducteur.
  • Résistance à haute température. Dans le processus de fabrication de semi-conducteurs, il nécessite un traitement à haute température. Nos pièces de graphite de semi-conducteur peuvent résister aux environnements à hautes températures sans déformation ou rupture.
  • Résistance à la corrosion. Les substances chimiques utilisées dans le processus de fabrication des semi-conducteurs ont de fortes propriétés corrosives. Nos pièces de graphite de semi-conducteur ont la bonne résistance à la corrosion et peuvent fonctionner stablement pendant longtemps.
  • Usinage de précision. Nous avons avancé l'équipement et la technologie de usinage, et pouvons fournir l'usinage de précision de partie de graphite de semi-conducteur selon les dessins et les conditions de client pour assurer l'exactitude et la qualité de produit.
Spécifications
Tableau 1: Spécifications de la pièce de graphite de semi-conducteur
Modèle Densité Porosité (ouverte) Taille du grain Dureté Rockwell B 5/100 Module de Young Résistance à la flexion Résistance à la compression Résistance électrique spécifique Expansion thermique Conductivité thermique Valeur des cendres
Valeurs G/cm3 μm, États-Unis DGRH MPA MPA MPA μΩm X10-6K-1 Wm-1K-1 Ppm
RC-6340 1,72 15% 15 80 11000 40 85 16 3.2 105 100
RC-6500 1,77 14% 10 70 10500 45 90 12 4.2 90 100
RC-6510 1,83 10% 10 90 11500 60 130 13 4.2 105 100
RC-6650 1,84 10% 7 95 12500 65 150 14 4.1 95 100
Notes:
  • Nous avons la capacité de purifier la teneur en cendres à 5 ppm. Si vous avez des exigences de pureté, veuillez nous contacter.
  • 1 MPa = 10,2 kgf/cm2; 1 W/m.k = 0,86 KCal/cm.h.°C
  • Ces propriétés sont des valeurs typiques et non garanties.