Pièces de graphite de semi-conducteur de grande pureté: une partie essentielle dans la production de semi-conducteur

Haute résistance et résistance à haute température.
Conductivité électrique et thermique élevée, résistance à la corrosion.
Excellente usinabilité.
Haute pureté et faible teneur en cendres (peut être purifié à 5 ppm).

All components of semiconductor graphite part

Description

Les pièces en graphite semi-conducteur sont des pièces en graphite spécial et utilisées dans le processus de production de semi-conducteurs, y compris les consommables en graphite dans la zone thermique de croissance des cristaux ainsi que les composants en graphite de haute précision dans les équipements de traitement des plaquettes. En tant que noyau de l'industrie électronique moderne, les semi-conducteurs sont largement utilisés dans les domaines des ordinateurs, des alimentations, des LED, de l'Internet, des cellules solaires, etc.

Nous avons avancé l'équipement et la technologie de usinage, et pouvons fournir la précision de pièces de graphite de semi-conducteur usinant selon les dessins et les conditions de client d'assurer l'exactitude et la qualité de produit. Pendant ce temps, nous utilisons un matériau graphite de haute pureté, et sa teneur en cendres peut être purifiée à 5 ppm, ce qui peut parfaitement répondre aux exigences de pureté des matériaux dans le processus de fabrication des semi-conducteurs.

Caractéristiques

Haute pureté. Nous employons le matériel de graphite de grande pureté, et pouvons épurer la teneur en cendres à 5 ppm pour répondre aux exigences de pureté des matériaux dans le processus de fabrication de semi-conducteur.
Résistance à haute température. Dans le processus de fabrication de semi-conducteurs, il nécessite un traitement à haute température. Nos pièces de graphite de semi-conducteur peuvent résister aux environnements à hautes températures sans déformation ou rupture.
Résistance à la corrosion. Les substances chimiques utilisées dans le processus de fabrication des semi-conducteurs ont de fortes propriétés corrosives. Nos pièces de graphite de semi-conducteur ont la bonne résistance à la corrosion et peuvent fonctionner stablement pendant longtemps.
Usinage de précision. Nous avons avancé l'équipement et la technologie de usinage, et pouvons fournir l'usinage de précision de partie de graphite de semi-conducteur selon les dessins et les conditions de client pour assurer l'exactitude et la qualité de produit.

Spécifications

Tableau 1: Spécifications de la pièce de graphite de semi-conducteur
Modèle	Densité	Porosité (ouverte)	Taille du grain	Dureté Rockwell B 5/100	Module de Young	Résistance à la flexion	Résistance à la compression	Résistance électrique spécifique	Expansion thermique	Conductivité thermique	Valeur des cendres
Valeurs	G/cm³	–	μm, États-Unis	DGRH	MPA	MPA	MPA	μΩm	X10^-6K^-1	Wm^-1K^-1	Ppm
RC-6340	1,72	15%	15	80	11000	40	85	16	3.2	105	100
RC-6500	1,77	14%	10	70	10500	45	90	12	4.2	90	100
RC-6510	1,83	10%	10	90	11500	60	130	13	4.2	105	100
RC-6650	1,84	10%	7	95	12500	65	150	14	4.1	95	100
Notes: Nous avons la capacité de purifier la teneur en cendres à 5 ppm. Si vous avez des exigences de pureté, veuillez nous contacter. 1 MPa = 10,2 kgf/cm²; 1 W/m.k = 0,86 ^KCal/cm.h.°C Ces propriétés sont des valeurs typiques et non garanties.